水處理技術支持
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超純水設備水質標準 高純水水質試行標準
發布者:皓泉水處理 發布日期:2017-09-26 瀏覽

我國電子工業部高純水水質試行標準

化學指標單位:μg/L

序號

水質項目

一級高純水指標

二級高純水指標

1

電阻率(25℃)MΩ·cm

15

10

2

電導率,μs/cm

0.05

0.1

3

PH

6.87.2

6.67.4

4

細菌總數,個/mL

3

9

5

微粒(直徑>0.5μm,粒/mL

150

300

6

二氧化硅

10

20

7

有機物(以COD計)

0.3

0.5

8

Na

0.5

2

9

Fe

1

2

10

Cu

0.5

1

11

Ca

1

3

12

Mg

0.2

1

13

Zn

0.5

1

14

Mn

0.2

0.5

說明:一級高純水適用于大規模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導體器件產品。
二級高純水適用于一般電路,分立器件以及有相同要求的半導體器件產品。
本表按1980年電子工業部標準摘錄。

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